VC-Kurven

VC-Kurven sind eine Sammlung von Standards zur Bestimmung von Umgebungsvibrationen, VC steht hierbei für Vibration Criteria (Englisch für Vibrationskriterien). Die ursprünglichen VC-Kurven wurden in den 80er Jahren entwickelt, um genau definierte Werte für die wachsenden Anwendungsbereiche der Halbleiter-, Mikroelektronik-, Biopharmazie- und medizinischen Industrie bereitzustellen. Seitdem wurden die Werte überarbeitet sowie erweitert und auch durch die ISO sind neue Vibrationskriterien erstellt worden. Nachfolgend ein Diagramm mit den ISO- und VC-Kurven bis VC-E.

Werkstatt (Workshop)
ISO-Wert für Werkstätten, welcher nicht überschritten werden sollte. Deutlich spürbare Vibrationen.

Büro (Office)
ISO-Wert für Büros, welcher nicht überschritten werden sollte. Spürbare Vibration.

Wohngebiet (Residential)
ISO-Wert für Wohngebiete, welcher tagsüber nicht überschritten werden sollte. Geringfügig spürbare Vibration. Mikroskope mit bis zu 20-facher Vergrößerung könnten verwendet werden.

Operationsraum (OP-Theatre)
ISO-Wert für Operationsräume, welcher nicht überschritten werden sollte. Gilt allgemein als Empfindungsschwelle des Menschen für Vibrationen. Geeignet für Mikroskope mit bis zu 100-facher Vergrößerung.

VC-A
Geeignet für Mikroskope mit bis zu 400-facher Vergrößerung und z.B. Kontaktbelichtungsanlagen.

VC-B
Für anspruchsvolle Laborumgebungen. Geeignet für Inspektions- und Lithographiegeräte mit 3 µm Genauigkeit.

VC-C
Geeignet für Mikroskope mit bis zu 1000-facher Vergrößerung und Inspektions- und Lithographiegeräte mit 1 µm Genauigkeit.

VC-D
Geeignet für Elektronenmikroskope und E-Beam-Prozesse.

VC-E
Extrem ruhige Laborumgebung. Schwierig einzuhalten. Geeignet für fast alle Anwendungen bis in den Nanometerbereich.

Bei den schwingungsintensiven Kriterien ist ein Anstieg der Werte im niederfrequenten Bereich zu erkennen, dies ist auf das Fühlvermögen des Menschen zurückzuführen, welcher bei niederfrequenten Schwingungen eine höhere Amplitude für die gleiche Empfindung benötigt. Im Bereich >8 Hz sind die Kriterienschritte eine Verdopplung bzw. Halbierung der Amplitudenwerte. Es existieren noch weitere Kriterien nach VC-E, jedoch werden hier Anwendungsbereiche und Umsatzbarkeit immer spezieller.

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